interferensmikroskop

Interferensmikroskop er et optisk mikroskop som brukes for å undersøke planslipte overflater.

På samme måte som i Michelsons interferometer splittes monokromatisk lys i en halvgjennomsiktig plate. De to strålene samles av hvert sitt objektiv. I brennpunktet til det ene objektivet står platen som skal undersøkes, og ved det andre står på samme måte en plan sammenligningsplate. Platene reflekterer lyset, som går tilbake gjennom den halvgjennomsiktige platen og fanges opp i mikroskopokularet. Her sees et interferensbilde, og uregelmessigheter i det kan tilbakeføres til ujevnheter i flaten som undersøkes. På denne måten kan man registrere høydeforskjeller i testflaten på ned til 30 nanometer (30 · 10^–9 m).