høyvakuumpumpe hvor pumpeeffekten oppnås ved at de gjenværende gassmolekylene ioniseres, trekkes mot utløpet av systemet ved hjelp av elektriske krefter og derpå fjernes ved mekanisk pumping eller adsorberes i et spesielt pumpeelement. Se høyvakuum.
Prinsipp, pumpetyper
Ionisering oppnås ved bombardement med elektroner som beveger seg i spiralbaner i et sterkt magnetfelt. Ionepumper med mekanisk pumping i slutt-trinnet er lite effektive og har et stort elektrisk strømforbruk. Større praktisk anvendelse har getterionepumpen, hvor ionene som dannes i gassen, fjernes med et aktivt pumpestoff, som regel et metall som enten varmes opp slik at det fordamper, evaporionepumpe, eller bombarderes med elektroner slik at det slås løs små metallpartikler, sputterionepumpe. I begge tilfeller vil metalldampen eller metallpartiklene suge til seg gassionene og holde på dem når metallet igjen slår seg ned på veggene i nærheten. Ionepumper er bare brukbare for lave trykk, mellom 10–2 Pa og 10–8 Pa.