Ionepumpe er en type vakuumpumpe hvor pumpeeffekten oppnås ved at de gjenværende gassmolekylene ioniseres, trekkes mot utløpet av systemet ved hjelp av elektriske krefter og derpå fjernes ved mekanisk pumping eller absorberes i et spesielt pumpeelement. Ionepumper brukes til å oppnå lave trykk, ned til 10–9 Pa.
De første effektive ionepumpene ble utviklet i 1950-årene. Ionisering oppnås ved bombardement med elektroner som beveger seg i spiralbaner i et sterkt magnetfelt. Ionepumper med mekanisk pumping i sluttrinnet er lite effektive og har et stort elektrisk strømforbruk. Større praktisk anvendelse har getterionepumpen, hvor ionene som dannes i gassen, fjernes med et aktivt pumpestoff, som regel et metall som enten varmes opp slik at det fordamper, evaporionepumpe, eller bombarderes med elektroner slik at det slås løs små metallpartikler, sputterionepumpe. I begge tilfeller vil metalldampen eller metallpartiklene suge til seg gassionene og holde på dem når metallet igjen slår seg ned på veggene i nærheten.
Ionepumper har ingen bevegelige deler og bruker ikke olje. De er rene, produserer ikke vibrasjoner og trenger lite vedlikehold. De er derfor godt egnet til bruk ved presisjonsmålinger.
Kommentarer
Kommentarer til artikkelen blir synlig for alle. Ikke skriv inn sensitive opplysninger, for eksempel helseopplysninger. Fagansvarlig eller redaktør svarer når de kan. Det kan ta tid før du får svar.
Du må være logget inn for å kommentere.