Røntgenmikroanalyse, mikrosondeanalyse, kjemisk analysemetode som blir brukt til punktvis analyse av prøven som skal undersøkes. Se mikrosonde. Metoden beror på at en nøyaktig fokusert elektronstråle treffer et mikroskopisk punkt på prøven og der utløser røntgenstråling som inneholder de karakteristiske bølgelengdene for de grunnstoffene det bestrålte stedet inneholder. Det utsendte røntgenlyset blir analysert som omtalt under røntgenfluorescensanalyse.