Kjemisk dampavsetting, fellesnavn på to syntesemetoder, Atomic Layer Epitaxi, ALE, og Chemical Vapour Deposition, CVD. Poenget med begge disse synteseteknikkene for tynne filmer er at gassformige stoffer dekomponerer (ALE) eller reagerer (CVD) og deretter avsetter seg på et egnet underlag, substrat. Forskjellen mellom teknikkene består i at ved ALE avsettes et lag av et bestemt atomslag før neste lag av et annet atomslag avsettes osv., mens det i CVD samtidig avsettes en blanding av atomer i en forutbestemt proporsjon. De tynne filmene fra CVD og ALE brukes hovedsakelig for elektronikkformål.

Foreslå endringer i tekst

Foreslå bilder til artikkelen

Kommentarer

Har du spørsmål til artikkelen? Skriv her, så får du svar fra fagansvarlig eller redaktør.

Du må være logget inn for å kommentere.