mikrosonde

Mikrosonde er et analyseinstrument for overflateanalyse. En finfokusert elektronstråle (tverrmål ned til én mikrometer) sendes mot overflaten av det preparatet som skal analyseres der den eksiterer atomene som sender ut røntgenstråling karakteristisk for de grunnstoffene som er til stede i preparatet.

Bølgelengder og intensitet av røntgenstrålingen måles ved hjelp av krystallspektrometre, og mengdene kan således bestemmes kvantitativt. I tillegg er de fleste mikrosonder utstyrt med energidispersiv analysator og utstyr for avbildning av preparatet etter samme prinsipp som sveipe-elektronmikroskopet.

Prinsippet for analyse i en mikrosonde er det samme som for røntgenspektroskopi. Men med mikrosonden kan mye mindre mengder bestemmes og mye mindre arealer kan analyseres. Dette er av stor betydning, særlig innen metallografi og geologi. Man kan analysere i et punkt, langs en linje eller en flate.

Det er også laget ionemikrosonder hvor prinsippet er at akselererte «primærioner», for eksempel argonioner, bombarderer preparatet og slår både ioniserte og ikke-ioniserte atomer eller molekyler fra preparatets overflate. Disse analyseres så ved hjelp av et massespektrometer. Teknikkens internasjonale betegnelse er SIMS, Secondary Ion Mass Spectroscopy. Denne teknikken tillater også at man kan analysere i dybden nedover fra overflaten. Metoden har meget lave påvisningsgrenser og har større følsomhet enn mikrosonden for lette grunnstoffer.