Kjemisk dampavsetting er et fellesnavn på to kjemiske syntesemetoder, Atomic Layer Epitaxi, ALE, og Chemical Vapour Deposition, CVD. Metodene brukes til å produsere tynne filmer som hovedsakelig brukes til elektronikkformål.

Begge synteseteknikkene går ut på at gassformige stoffer dekomponerer (ALE) eller reagerer (CVD) og deretter avsetter seg på et egnet underlag (substratet). Forskjellen mellom teknikkene er at ved ALE avsettes et lag av et bestemt atomslag før neste lag av et annet atomslag avsettes og så videre, mens det i CVD samtidig avsettes en blanding av atomer i en forutbestemt proporsjon.

Les mer i Store norske leksikon

Kommentarer

Kommentarer til artikkelen blir synlig for alle. Ikke skriv inn sensitive opplysninger, for eksempel helseopplysninger. Fagansvarlig eller redaktør svarer når de kan. Det kan ta tid før du får svar.

Du må være logget inn for å kommentere.

eller registrer deg