Ellipsometri er en optisk metode til måling av meget tynne sjikt på materialoverflater. Polarisert lys sendes mot en overflate, og polarisasjonen til det reflekterte lyset er avhengig av egenskaper på materialets overflate. Målemetoden kan vise belegg ned til ett atomlag.
Ellipsometri brukes blant annet til å måle belegg på halvledere. Viktige bidrag til utviklingen av teknikken ble gitt av NTH-professorene Leif Tronstad (1903–1945) og Arthur Baker Winterbottom (1904–1978), samt professor Ola Hunderi (1939-2016) ved samme sted (fra 1996 NTNU).
Kommentarer
Kommentarer til artikkelen blir synlig for alle. Ikke skriv inn sensitive opplysninger, for eksempel helseopplysninger. Fagansvarlig eller redaktør svarer når de kan. Det kan ta tid før du får svar.
Du må være logget inn for å kommentere.